广州潽拓光电科技-中山英国爱德华真空泵维修-广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技-中山英国爱德华真空泵维修

咨询热线： 13728080527

立即咨询 QQ咨询

信息详情

广州潽拓光电科技有限公司——英国爱德华真空泵维修

岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。

岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。

我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：

1、超声波清洗转/定子叶片及腔体并烘干

2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准,

5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar等

6、持续模拟生产现场测试24小时,

7、0-20KHz震动频谱加速度分析

广州潽拓光电科技有限公司——英国爱德华真空泵维修

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——英国爱德华真空泵维修

涡轮分子泵的抽气原理

是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

涡轮分子泵的优点是启动快，耐各种射线的照射，耐大气冲击，无储气和解吸作用，无油蒸气污染或污染极*，可获得洁净的超高真空

广州潽拓光电科技有限公司——英国爱德华真空泵维修

广州潽拓光电科技有限公司，成功维修了多台岛津TMP-4304LMC磁悬浮分子泵驱动器

岛津TMP-4304LMC高速泵保养，Shimadzu磁悬浮分子泵，岛津TMP-4304LMC 的HZ:50/60 VA:2.1K V:~200-240，日本岛津磁悬浮TMP-4304LMC分子泵保养对应的控制器为：Shimadzu EI-R04M。

广州潽拓光电科技有限公司——英国爱德华真空泵维修